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全氟醚橡膠

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TRUFLOUREZ-T95（超高純度等級(jí)）

透明全氟橡膠

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產(chǎn)品詳情


?硬度（ Shore A ）為60度


?耐溫性能：-5 ℃～300 ℃


?耐介質(zhì)性能：優(yōu)異的耐腐蝕性，能夠在、Plasma等苛刻的環(huán)境中保持橡膠的彈性，最高可在300度的溫度下保持密封性能刻蝕


?應(yīng)用于PVD、CVD、ETCH、 Chamber等工藝制程


?推薦用于半導(dǎo)體制程，超高潔凈度的腔體內(nèi)

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